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激光干涉儀在計量校準中，常用于哪些方面？
2022-12-02 09:31
激光干涉儀是用光波為基礎載體，以激光為長度基準的高精度、高靈敏度的檢測儀器。激光干涉儀不但廣泛用于數控機床、激光切割機、光刻機等高端設備，還能用于計量校準領域。今天華中航就為大家介紹幾種普遍的案例。
1.成像儀的定位精度的測量
傳統化成像儀檢測方式是使用線性比例尺比較法開展的，具有檢測精度低、測量系統偏差大、欠缺原因分析功能、改進措施有偏差、檢測效率低等現象。激光干涉儀適合于快速檢測成像儀的定位誤差，計算和分析測量數據，并通過該軟件制作補充文件，快速實現二維平面多點補充，可大幅度降低設備制造環節的精確度計量校準難度，提升計量校準效率和補充效率。
2.測量三坐標測量機的示值誤差
伴隨著三坐標測量機技術上的更新和進步，使用傳統化量塊和球板可能很難達到大型三坐標測量機的檢測需求。激光干涉儀檢測精度高，檢測范圍大，測量數據豐富。可用于測量三坐標系的幾何誤差。
3.長度測量機計量校準
傳統化長度測量機的示值誤差主要通過量塊做好計量校準，受環境因素影響較大，對計量校準標準要求嚴格，而檢測范圍超過1米的長度測量機須要分段校準，這也是低效率的，而使用激光干涉儀做好校準，不但可以提升效率，也可以通過環境補充單元對空氣溫度、壓力、濕度和物料溫度進行補償，提升計量校準精確度。
4.位移傳感器驗證
用激光干涉儀對位移傳感器做好計量校準已成為了一種發展方向，特點是檢測精度高、響應速度快、有利于數字化測量。在測量之中建立一個精密導軌，然后把反射鏡和被測傳感器放一起做好同步檢測，從而產生對比。位移傳感器自動檢定系統和SJ6000激光干涉儀（標準）對定長位移進行了測試和對比，取得往復試驗實驗結果。
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